内容摘要：追求更小的 DRAM 单元尺寸cell ?size)仍然很活跃并且正在进行中。对于 D12 节点，DRAM 单元尺寸预计接近 0.0013 um?。无论考虑使用 DUV 还是 EUV 光刻，图案化挑战

追求更小的办不万 DRAM 单元尺寸（cell ?size)仍然很活跃并且正在进行中。对于 D12 节点，刻也DRAM 单元尺寸预计接近 0.0013 um?。办不万无论考虑使用 DUV 还是刻也 EUV 光刻，图案化挑战都是办不万重大的。

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